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第386章 超级快充！浸润式光刻模组（第3页）

“不错不错。”

陈腾笑得非常开心。

将系统给的U盘插入电脑当中，陈腾越看越开心。

技术详解真不愧是技术详解，讲的就是详细。

“不过这个技术，能算是突破性成就吗？”

陈腾觉得不算。

这项技术强归强，但是本质上还是锦上添花。

无非是一朵很大很大的花罢了。

“要不要再抽一下？”

陈腾有些犹豫。

一项超级快充技术，足够下一代的腾达手机大卖了。

“再抽！”

陈腾决定，只要抽出一项能给手机带来突破性成就的奖励他就收手。

【浸润式光刻模组技术详解】

“我擦？”

陈腾的呼吸变得急促与沉重起来。

居然是这个？

在让人研究光刻机之后，陈腾本人对光刻机也有一定程度的了解。

DUV浸润式光刻机，大致可以分成六个模组。

掩膜版传送模组、晶圆传送模组、照明模组、投影物镜模组、浸润式光刻模组、双晶圆平台模组。

这六个模组当中，难度最大的就是浸润式光刻模组。

这个模组，也是浸润式光刻机名字的由来。

聊到浸润式光刻模组，那就不得不聊一下投影物镜模组与光刻机的原理。

简单概括一下，光刻机的原理就是利用紫外光，在晶圆上进行雕刻。

投影物镜的作用，就是将照明模组发射出的紫外光收进物镜内，并聚焦成像在晶圆上。

一般来说，由瑞利公式可以得出结论。

投影物镜是越粗，最后制造出来的芯片性能就会更高。